基于非球面检测的磁力微动间隙控制技术研究
기우비구면검측적자력미동간극공제기술연구
Based on the aspheric testing magnetic micro gap control technology research
  • 万方数据
    国外电子测量技术 국외전자측량기술
    FOREIGN ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOLOGY
    2014年 1期 62-64 ,共3页

    郭海洋%郭忠达%焦璐璐

    곽해양%곽충체%초로로

    电磁驱动%微位移%检测 電磁驅動%微位移%檢測
    전자구동%미위이%검측
    electro-magnetic drive%micro-mobility%testing
    在非球面检测中,为了能很好的控制参考波面的变化,需要对参考镜的位置进行微移动,针对此问题,研究了一种磁动式微动间隙调节结构,该结构以3个通电电磁线圈为驱动力,直线导轨为运动平台,通过电磁力驱动使参考镜的位置进行微小的变化,结构简单、方便,可以实现波面的位置控制,通过实验验证了该结构设计的正确性和可行性.
    재비구면검측중,위료능흔호적공제삼고파면적변화,수요대삼고경적위치진행미이동,침대차문제,연구료일충자동식미동간극조절결구,해결구이3개통전전자선권위구동력,직선도궤위운동평태,통과전자력구동사삼고경적위치진행미소적변화,결구간단、방편,가이실현파면적위치공제,통과실험험증료해결구설계적정학성화가행성.
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