信息记录材料
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신식기록재료
INFORMATION RECORDING MATERIALS
2014年
2期
29-34
,共6页
夏江南%高建辉%姜宁%韩明星
夏江南%高建輝%薑寧%韓明星
하강남%고건휘%강저%한명성
扫描电镜%荷电效应%边缘效应%电子束损伤
掃描電鏡%荷電效應%邊緣效應%電子束損傷
소묘전경%하전효응%변연효응%전자속손상
扫描电子显微镜对待测样品的要求极其严格,样品一定要不含水分、无磁性、无毒性且成分稳定,不导电和导电性差的样品要通过离子溅射仪镀膜,它是样品进行微观分析时的重要实验手段.本研究以各研究室送的检测样品为材料,应用扫描电子显微镜对各类样品进行表征.在具体操作时会出现荷电效应、边缘效应、电子束损伤、污染这4种常见的扫描电镜图像缺陷,分析了其影响因素,提出可以通过使样品导电法、降低电压法、快速观察法及减少污染法等方法解决图像缺陷问题,并展示了结果.
掃描電子顯微鏡對待測樣品的要求極其嚴格,樣品一定要不含水分、無磁性、無毒性且成分穩定,不導電和導電性差的樣品要通過離子濺射儀鍍膜,它是樣品進行微觀分析時的重要實驗手段.本研究以各研究室送的檢測樣品為材料,應用掃描電子顯微鏡對各類樣品進行錶徵.在具體操作時會齣現荷電效應、邊緣效應、電子束損傷、汙染這4種常見的掃描電鏡圖像缺陷,分析瞭其影響因素,提齣可以通過使樣品導電法、降低電壓法、快速觀察法及減少汙染法等方法解決圖像缺陷問題,併展示瞭結果.
소묘전자현미경대대측양품적요구겁기엄격,양품일정요불함수분、무자성、무독성차성분은정,불도전화도전성차적양품요통과리자천사의도막,타시양품진행미관분석시적중요실험수단.본연구이각연구실송적검측양품위재료,응용소묘전자현미경대각류양품진행표정.재구체조작시회출현하전효응、변연효응、전자속손상、오염저4충상견적소묘전경도상결함,분석료기영향인소,제출가이통과사양품도전법、강저전압법、쾌속관찰법급감소오염법등방법해결도상결함문제,병전시료결과.
