真空
真空
진공
VACUUM
2013年
5期
6-8
,共3页
王栋%巴德纯%杜广煜%陈小龙%宫骏
王棟%巴德純%杜廣煜%陳小龍%宮駿
왕동%파덕순%두엄욱%진소룡%궁준
电子束物理气相沉积%热障涂层%工艺特点%改进
電子束物理氣相沉積%熱障塗層%工藝特點%改進
전자속물리기상침적%열장도층%공예특점%개진
electron beam physical vapor deposition%thermal barrier coatings%technical characteristics%improvement
EB-PVD是以高能电子束为热源的一种蒸发镀膜技术.在真空的环境下,高能离子束轰击靶材(金属,陶瓷等),使其融化、升华、蒸发,最后沉积在基片上.由于EB-PVD技术具有蒸发和沉积速率高,涂层致密,化学成分易于精确控制,可得到柱状晶组织,无污染,热效率高,基片与薄膜之间有较强的结合力等诸多优点,已被广泛应用于国防和民用领域.本文介绍了EB-PVD技术在制备热障涂层时优势、不足与改进措施.
EB-PVD是以高能電子束為熱源的一種蒸髮鍍膜技術.在真空的環境下,高能離子束轟擊靶材(金屬,陶瓷等),使其融化、升華、蒸髮,最後沉積在基片上.由于EB-PVD技術具有蒸髮和沉積速率高,塗層緻密,化學成分易于精確控製,可得到柱狀晶組織,無汙染,熱效率高,基片與薄膜之間有較彊的結閤力等諸多優點,已被廣汎應用于國防和民用領域.本文介紹瞭EB-PVD技術在製備熱障塗層時優勢、不足與改進措施.
EB-PVD시이고능전자속위열원적일충증발도막기술.재진공적배경하,고능리자속굉격파재(금속,도자등),사기융화、승화、증발,최후침적재기편상.유우EB-PVD기술구유증발화침적속솔고,도층치밀,화학성분역우정학공제,가득도주상정조직,무오염,열효솔고,기편여박막지간유교강적결합력등제다우점,이피엄범응용우국방화민용영역.본문개소료EB-PVD기술재제비열장도층시우세、불족여개진조시.
