真空
真空
진공
VACUUM
2013年
5期
1-5
,共5页
尹星%沈丽如%但敏%杨发展%许泽金%金凡亚
尹星%瀋麗如%但敏%楊髮展%許澤金%金凡亞
윤성%침려여%단민%양발전%허택금%금범아
高功率脉冲磁控溅射%TiN%显微硬度%XRD%摩擦磨损
高功率脈遲磁控濺射%TiN%顯微硬度%XRD%摩抆磨損
고공솔맥충자공천사%TiN%현미경도%XRD%마찰마손
high power pulsed magnetron sputtering%TiN%microhardness%XRD%frictional wear
采用高功率复合脉冲磁控溅射技术(HPPMS)在316不锈钢、硬质合金基体上沉积了TiN薄膜,研究不同N2流量下TiNx膜层的沉积速率、硬度、晶体生长取向、摩擦磨损等性能,并在相同的平均靶电流下与直流磁控溅射制备的TiN薄膜对比.结果表明:HPPMS制备的膜层更加致密,在氩氮流量比为7.4∶1时膜层显微硬度达2470 HV,晶粒尺寸也明显小于直流磁控溅射制备的TiN,摩擦磨损性能也得到了改善.
採用高功率複閤脈遲磁控濺射技術(HPPMS)在316不鏽鋼、硬質閤金基體上沉積瞭TiN薄膜,研究不同N2流量下TiNx膜層的沉積速率、硬度、晶體生長取嚮、摩抆磨損等性能,併在相同的平均靶電流下與直流磁控濺射製備的TiN薄膜對比.結果錶明:HPPMS製備的膜層更加緻密,在氬氮流量比為7.4∶1時膜層顯微硬度達2470 HV,晶粒呎吋也明顯小于直流磁控濺射製備的TiN,摩抆磨損性能也得到瞭改善.
채용고공솔복합맥충자공천사기술(HPPMS)재316불수강、경질합금기체상침적료TiN박막,연구불동N2류량하TiNx막층적침적속솔、경도、정체생장취향、마찰마손등성능,병재상동적평균파전류하여직류자공천사제비적TiN박막대비.결과표명:HPPMS제비적막층경가치밀,재아담류량비위7.4∶1시막층현미경도체2470 HV,정립척촌야명현소우직류자공천사제비적TiN,마찰마손성능야득도료개선.
