真空
真空
진공
VACUUM
2013年
5期
21-24
,共4页
双靶共溅射%金属间化合物薄膜%物相结构%高温摩擦行为
雙靶共濺射%金屬間化閤物薄膜%物相結構%高溫摩抆行為
쌍파공천사%금속간화합물박막%물상결구%고온마찰행위
double target co-sputtering%intermetallic films%microstructure%friction behavior under high temperature
在同一次双靶共溅射过程中,通过改变基体相对于靶材的位置制备了不同化学成份TiAl系金属间化合物薄膜.采用EDS、XRD、SEM、AFM等手段对薄膜的成分、物相结构和表面形貌进行了表征,并对薄膜的高温摩擦行为进行了分析研究.实验结果表明:薄膜的化学成分、物相结构、表面形貌都随着溅射位置的改变而发生变化,500℃以下时位于双靶中间位置的薄膜具有体系中最佳的性能.
在同一次雙靶共濺射過程中,通過改變基體相對于靶材的位置製備瞭不同化學成份TiAl繫金屬間化閤物薄膜.採用EDS、XRD、SEM、AFM等手段對薄膜的成分、物相結構和錶麵形貌進行瞭錶徵,併對薄膜的高溫摩抆行為進行瞭分析研究.實驗結果錶明:薄膜的化學成分、物相結構、錶麵形貌都隨著濺射位置的改變而髮生變化,500℃以下時位于雙靶中間位置的薄膜具有體繫中最佳的性能.
재동일차쌍파공천사과정중,통과개변기체상대우파재적위치제비료불동화학성빈TiAl계금속간화합물박막.채용EDS、XRD、SEM、AFM등수단대박막적성분、물상결구화표면형모진행료표정,병대박막적고온마찰행위진행료분석연구.실험결과표명:박막적화학성분、물상결구、표면형모도수착천사위치적개변이발생변화,500℃이하시위우쌍파중간위치적박막구유체계중최가적성능.
