化工管理
化工管理
화공관리
CHEMICAL INDUSTRY MANAGEMENT
2014年
3期
86-86
,共1页
多晶硅%成品检测%抛光技术
多晶硅%成品檢測%拋光技術
다정규%성품검측%포광기술
对两种抛光方法的原理及效果等特点进行了分析比较，指出了多晶硅成品检测实验室采用物理抛光方法能在效果和成本方面达到最佳。并对物理抛光方法进行了改进。
對兩種拋光方法的原理及效果等特點進行瞭分析比較，指齣瞭多晶硅成品檢測實驗室採用物理拋光方法能在效果和成本方麵達到最佳。併對物理拋光方法進行瞭改進。
대량충포광방법적원리급효과등특점진행료분석비교，지출료다정규성품검측실험실채용물리포광방법능재효과화성본방면체도최가。병대물리포광방법진행료개진。
