质谱学报
質譜學報
질보학보
2014年
4期
335-340
,共6页
直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)%氧化铝粉末%压片%归一化%杂质元素
直流輝光放電質譜法(dc-GDMS)%氧化鋁粉末%壓片%歸一化%雜質元素
직류휘광방전질보법(dc-GDMS)%양화려분말%압편%귀일화%잡질원소
direct current glow discharge mass spectrometry(dc-GDMS)%oxide aluminum powder%tablet%normalization%impurity elements
为了探索采用直流辉光放电质谱法(dc-GDMS)测定非导体样品中的杂质含量,建立了de-GDMS法测定α-Al2O3粉末中杂质元素的方法.以Cu粉作为导电介质,与α-Al2O3粉末混合均匀,压片,考察辉光放电条件(放电电流、放电气体流量、离子源温度)和压片条件(两种粉末的混合比例、压片机压力等因素)对放电稳定性和灵敏度的影响,同时优化了实验条件.尝试将Al、O、Cu的总信号归一化进行计算,并用差减法计算了Al2O3粉末中的杂质含量.方法精密度在54％以内,元素检出限为0.005～0.57 μg/g.该方法的测定结果与直流电弧发射光谱法的测定结果基本吻合.
為瞭探索採用直流輝光放電質譜法(dc-GDMS)測定非導體樣品中的雜質含量,建立瞭de-GDMS法測定α-Al2O3粉末中雜質元素的方法.以Cu粉作為導電介質,與α-Al2O3粉末混閤均勻,壓片,攷察輝光放電條件(放電電流、放電氣體流量、離子源溫度)和壓片條件(兩種粉末的混閤比例、壓片機壓力等因素)對放電穩定性和靈敏度的影響,同時優化瞭實驗條件.嘗試將Al、O、Cu的總信號歸一化進行計算,併用差減法計算瞭Al2O3粉末中的雜質含量.方法精密度在54％以內,元素檢齣限為0.005～0.57 μg/g.該方法的測定結果與直流電弧髮射光譜法的測定結果基本吻閤.
위료탐색채용직류휘광방전질보법(dc-GDMS)측정비도체양품중적잡질함량,건립료de-GDMS법측정α-Al2O3분말중잡질원소적방법.이Cu분작위도전개질,여α-Al2O3분말혼합균균,압편,고찰휘광방전조건(방전전류、방전기체류량、리자원온도)화압편조건(량충분말적혼합비례、압편궤압력등인소)대방전은정성화령민도적영향,동시우화료실험조건.상시장Al、O、Cu적총신호귀일화진행계산,병용차감법계산료Al2O3분말중적잡질함량.방법정밀도재54％이내,원소검출한위0.005～0.57 μg/g.해방법적측정결과여직류전호발사광보법적측정결과기본문합.
