电子科技大学学报
電子科技大學學報
전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2014年
1期
155-160
,共6页
薛博%陈小梅%毛冰晶%倪国强
薛博%陳小梅%毛冰晶%倪國彊
설박%진소매%모빙정%예국강
调制传递函数%镜面微振动%点扩散函数%光线追迹
調製傳遞函數%鏡麵微振動%點擴散函數%光線追跡
조제전체함수%경면미진동%점확산함수%광선추적
MTF%optical surface micro-vibration%PSF%ray trace
提出了一种高精度求解光学系统中镜面振动在曝光时间内形成的点扩散函数(PSF)的数值计算方法。传统方法计算镜面振动造成像点位移情况,并仅由该值评估镜面振动时系统调制传递函数(MTF)下降情况。该方法忽略了光学系统镜面位置发生改变时其光学系统自身MTF也会同时变化的特性,将导致误差产生。该误差在光学元件振幅较小时并不显著,但随着振幅的加大,该误差会变得不可忽略。该方法通过细分成像过程来计算每一个时刻的点扩散函数,并将这些点扩散函数进行积分来消除该误差。该方法适用于计算任意角度入射的空间光线在经过一个不稳定的光学系统后形成的点扩散函数。
提齣瞭一種高精度求解光學繫統中鏡麵振動在曝光時間內形成的點擴散函數(PSF)的數值計算方法。傳統方法計算鏡麵振動造成像點位移情況,併僅由該值評估鏡麵振動時繫統調製傳遞函數(MTF)下降情況。該方法忽略瞭光學繫統鏡麵位置髮生改變時其光學繫統自身MTF也會同時變化的特性,將導緻誤差產生。該誤差在光學元件振幅較小時併不顯著,但隨著振幅的加大,該誤差會變得不可忽略。該方法通過細分成像過程來計算每一箇時刻的點擴散函數,併將這些點擴散函數進行積分來消除該誤差。該方法適用于計算任意角度入射的空間光線在經過一箇不穩定的光學繫統後形成的點擴散函數。
제출료일충고정도구해광학계통중경면진동재폭광시간내형성적점확산함수(PSF)적수치계산방법。전통방법계산경면진동조성상점위이정황,병부유해치평고경면진동시계통조제전체함수(MTF)하강정황。해방법홀략료광학계통경면위치발생개변시기광학계통자신MTF야회동시변화적특성,장도치오차산생。해오차재광학원건진폭교소시병불현저,단수착진폭적가대,해오차회변득불가홀략。해방법통과세분성상과정래계산매일개시각적점확산함수,병장저사점확산함수진행적분래소제해오차。해방법괄용우계산임의각도입사적공간광선재경과일개불은정적광학계통후형성적점확산함수。
This paper proposed a precise numerical method to calculate the point spread function (PSF) when optical systems encounter micro-vibration within a certain amount of exposure time. Conventional methods evaluate the modulation transfer function (MTF) degradation by using the image point displacement caused by micro-vibration. They ignore the change of MTF while the vibration is happening, which may cause errors if the amplitude of the vibration is large. The proposed method eliminates this error by integrating PSFs at each moment during the vibration. This method is well suited for computing the PSF of the spatial light propagating through an unstable optical system.