仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2013年
1期
1-3,15
,共4页
揣荣岩%白羽%吴美乐%代全%靳晓诗
揣榮巖%白羽%吳美樂%代全%靳曉詩
췌영암%백우%오미악%대전%근효시
加速度传感器%多晶硅纳米膜%压阻式%超薄微梁%谐振频率
加速度傳感器%多晶硅納米膜%壓阻式%超薄微樑%諧振頻率
가속도전감기%다정규납미막%압조식%초박미량%해진빈솔
随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用.但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾.为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构.这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升.
隨著微機電繫統(MEMS)技術的迅速髮展,硅基加速度傳感器已經得到廣汎應用.但在敏感結構設計中,普遍存在靈敏度與固有諧振頻率相互製約的矛盾.為此,採用多晶硅納米膜作應變電阻,設計瞭300 nm超薄微樑加速度敏感結構.這種結構的設計改善瞭靈敏度與諧振頻率之間的矛盾,使兩者乘積值提高瞭30餘倍,從而使壓阻加速度計的性能得到大幅提升.
수착미궤전계통(MEMS)기술적신속발전,규기가속도전감기이경득도엄범응용.단재민감결구설계중,보편존재령민도여고유해진빈솔상호제약적모순.위차,채용다정규납미막작응변전조,설계료300 nm초박미량가속도민감결구.저충결구적설계개선료령민도여해진빈솔지간적모순,사량자승적치제고료30여배,종이사압조가속도계적성능득도대폭제승.
