固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2013年
1期
97-101
,共5页
刘迪%陆坚%梁海莲%顾晓峰
劉迪%陸堅%樑海蓮%顧曉峰
류적%륙견%량해련%고효봉
静态电流%绝缘体上硅%光发射显微镜%扫描电子显微镜%失效分析%经时介质击穿
靜態電流%絕緣體上硅%光髮射顯微鏡%掃描電子顯微鏡%失效分析%經時介質擊穿
정태전류%절연체상규%광발사현미경%소묘전자현미경%실효분석%경시개질격천
静态电流测试是一种高灵敏度、低成本的集成电路失效分析技术,在集成电路故障检测、可靠性测试及筛选中的应用日益普遍.针对某绝缘体上硅专用集成电路在老炼和热冲击实验后出现的静态电流测试失效现象,结合样品伏安特性、光发射显微镜和扫描电子显微镜等电学和物理失效分析手段,确定了栅氧化层中物理缺陷的存在、位置及类型；结合栅氧化层经时介质击穿原理分析,揭示了样品的主要失效机理,并分析了经时介质击穿失效的根源,为改进工艺、提高电路可靠性提供了依据.
靜態電流測試是一種高靈敏度、低成本的集成電路失效分析技術,在集成電路故障檢測、可靠性測試及篩選中的應用日益普遍.針對某絕緣體上硅專用集成電路在老煉和熱遲擊實驗後齣現的靜態電流測試失效現象,結閤樣品伏安特性、光髮射顯微鏡和掃描電子顯微鏡等電學和物理失效分析手段,確定瞭柵氧化層中物理缺陷的存在、位置及類型；結閤柵氧化層經時介質擊穿原理分析,揭示瞭樣品的主要失效機理,併分析瞭經時介質擊穿失效的根源,為改進工藝、提高電路可靠性提供瞭依據.
정태전류측시시일충고령민도、저성본적집성전로실효분석기술,재집성전로고장검측、가고성측시급사선중적응용일익보편.침대모절연체상규전용집성전로재노련화열충격실험후출현적정태전류측시실효현상,결합양품복안특성、광발사현미경화소묘전자현미경등전학화물리실효분석수단,학정료책양화층중물리결함적존재、위치급류형；결합책양화층경시개질격천원리분석,게시료양품적주요실효궤리,병분석료경시개질격천실효적근원,위개진공예、제고전로가고성제공료의거.
