CAJ | 학술논문

为了计算斜梁型电热微致动器的输出位移,基于电-热分析和热平衡原理建立了电热微致动器的电热耦合稳态传热方程.对热-结构进行了分析,运用力法原理建立了微致动器的位移计算模型.然后,用有限元法和实际测试对比验证了温度分布和输出位移的理论值,得到了一致性很好的结果.最后,分析了微致动器输出位移的保持性和重复性,以及结构参数和工艺对微致动器输出位移的影响.分析表明:斜梁的长宽比和倾角是影响微致动器输出位移的主要参数,工艺对输出位移有影响.实验结果表明:9V和18V电压下,微致动器的最大位移分别为0.85 μm和2.3 μm,与理论计算结果相对误差为2.2％和12.8％,实测值与理论值误差较小,表明本文推导的斜梁型电热微致动器的输出位移计算公式合理,能够为该类微致动器的设计和计算提供理论依据.
위료계산사량형전열미치동기적수출위이,기우전-열분석화열평형원리건립료전열미치동기적전열우합은태전열방정.대열-결구진행료분석,운용역법원리건립료미치동기적위이계산모형.연후,용유한원법화실제측시대비험증료온도분포화수출위이적이론치,득도료일치성흔호적결과.최후,분석료미치동기수출위이적보지성화중복성,이급결구삼수화공예대미치동기수출위이적영향.분석표명:사량적장관비화경각시영향미치동기수출위이적주요삼수,공예대수출위이유영향.실험결과표명:9V화18V전압하,미치동기적최대위이분별위0.85 μm화2.3 μm,여이론계산결과상대오차위2.2％화12.8％,실측치여이론치오차교소,표명본문추도적사량형전열미치동기적수출위이계산공식합리,능구위해류미치동기적설계화계산제공이론의거.