化工进展
化工進展
화공진전
CHEMICAL INDUSTRY AND ENGINEERING PROGRESS
2013年
1期
129-133,155
,共6页
吴晓磊%孙林兵%殷孝谦%刘晓勤%张文波%尹泉生
吳曉磊%孫林兵%慇孝謙%劉曉勤%張文波%尹泉生
오효뢰%손림병%은효겸%류효근%장문파%윤천생
高纯氨%净化%吸附%微量水
高純氨%淨化%吸附%微量水
고순안%정화%흡부%미량수
随着近年来电子行业的迅猛发展,对包括高纯氨在内的各种电子气体的需求量与日俱增.在生产高纯氨的工艺中,水分是最难脱除的.本文介绍了国内外高纯氨的生产使用情况,综述了硅胶、分子筛和活性氧化铝等几种常见吸水材料以及金属合金、金属氧化物和金属盐类吸附材料的研究进展,阐述了物理吸附、化学吸附以及二者相结合的吸附工艺的优缺点,探讨了吸附机理.最后对氨气中微量水吸附脱除工艺的发展方向进行了展望,指出采用吸附容量大、吸附深度高并且易于再生的吸附剂的物理、化学吸附相结合的工艺是今后的研究方向.
隨著近年來電子行業的迅猛髮展,對包括高純氨在內的各種電子氣體的需求量與日俱增.在生產高純氨的工藝中,水分是最難脫除的.本文介紹瞭國內外高純氨的生產使用情況,綜述瞭硅膠、分子篩和活性氧化鋁等幾種常見吸水材料以及金屬閤金、金屬氧化物和金屬鹽類吸附材料的研究進展,闡述瞭物理吸附、化學吸附以及二者相結閤的吸附工藝的優缺點,探討瞭吸附機理.最後對氨氣中微量水吸附脫除工藝的髮展方嚮進行瞭展望,指齣採用吸附容量大、吸附深度高併且易于再生的吸附劑的物理、化學吸附相結閤的工藝是今後的研究方嚮.
수착근년래전자행업적신맹발전,대포괄고순안재내적각충전자기체적수구량여일구증.재생산고순안적공예중,수분시최난탈제적.본문개소료국내외고순안적생산사용정황,종술료규효、분자사화활성양화려등궤충상견흡수재료이급금속합금、금속양화물화금속염류흡부재료적연구진전,천술료물리흡부、화학흡부이급이자상결합적흡부공예적우결점,탐토료흡부궤리.최후대안기중미량수흡부탈제공예적발전방향진행료전망,지출채용흡부용량대、흡부심도고병차역우재생적흡부제적물리、화학흡부상결합적공예시금후적연구방향.
