传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
1期
63-66
,共4页
多波长%边缘电场传感器%交叉指型%非线性回归
多波長%邊緣電場傳感器%交扠指型%非線性迴歸
다파장%변연전장전감기%교차지형%비선성회귀
多波长边缘电场传感器由于具有单边穿透、多种穿透深度及层析成像等优点,广泛用于工业过程控制中被测多层样本特性的无损测量.如何建立传感器的输出与多层特性之间的关系一直是参数估计算法的研究难点.以三波长交叉指型边缘电场传感器为例,基于三维有限元仿真,建立了多层样本介电特性和互导电容之间的多元非线性回归模型,研究参数估计算法,实验结果表明算法的有效性.
多波長邊緣電場傳感器由于具有單邊穿透、多種穿透深度及層析成像等優點,廣汎用于工業過程控製中被測多層樣本特性的無損測量.如何建立傳感器的輸齣與多層特性之間的關繫一直是參數估計算法的研究難點.以三波長交扠指型邊緣電場傳感器為例,基于三維有限元倣真,建立瞭多層樣本介電特性和互導電容之間的多元非線性迴歸模型,研究參數估計算法,實驗結果錶明算法的有效性.
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