传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
1期
31-33
,共3页
皮拉尼传感器%CMOS 工艺%MEMS%微热板
皮拉尼傳感器%CMOS 工藝%MEMS%微熱闆
피랍니전감기%CMOS 공예%MEMS%미열판
皮拉尼传感器广泛用于105 Pa～10-1 Pa的粗真空测量.本文在基于MEMS工艺的皮拉尼传感器的基础上研制了一款与标准CMOS 工艺兼容的皮拉尼传感器.它采用钨微热板作为敏感元件,工作在恒电流模式下.该传感器利用0.5μm标准CMOS工艺加工,对10-1Pa～ 105 Pa的气压有响应,尤其对1Pa～100Pa气压具有线性响应.
皮拉尼傳感器廣汎用于105 Pa～10-1 Pa的粗真空測量.本文在基于MEMS工藝的皮拉尼傳感器的基礎上研製瞭一款與標準CMOS 工藝兼容的皮拉尼傳感器.它採用鎢微熱闆作為敏感元件,工作在恆電流模式下.該傳感器利用0.5μm標準CMOS工藝加工,對10-1Pa～ 105 Pa的氣壓有響應,尤其對1Pa～100Pa氣壓具有線性響應.
피랍니전감기엄범용우105 Pa～10-1 Pa적조진공측량.본문재기우MEMS공예적피랍니전감기적기출상연제료일관여표준CMOS 공예겸용적피랍니전감기.타채용오미열판작위민감원건,공작재항전류모식하.해전감기이용0.5μm표준CMOS공예가공,대10-1Pa～ 105 Pa적기압유향응,우기대1Pa～100Pa기압구유선성향응.
