传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2013年
1期
17-20
,共4页
微机电加速度计%寄生电容%噪声分析%电容检测
微機電加速度計%寄生電容%譟聲分析%電容檢測
미궤전가속도계%기생전용%조성분석%전용검측
主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证.通过仿真分析发现,铝电极下的玻璃衬底是增大该寄生电容的主要因素.实验结果表明,该寄生电容会增加60％以上的系统噪声.
主要分析變麵積式微機械加速度敏感元件中的固定平行電極間寄生電容對繫統譟聲的影響,建立敏感元件的電磁倣真模型,進行譟聲公式的推導,併得到瞭實驗驗證.通過倣真分析髮現,鋁電極下的玻璃襯底是增大該寄生電容的主要因素.實驗結果錶明,該寄生電容會增加60％以上的繫統譟聲.
주요분석변면적식미궤계가속도민감원건중적고정평행전겁간기생전용대계통조성적영향,건립민감원건적전자방진모형,진행조성공식적추도,병득도료실험험증.통과방진분석발현,려전겁하적파리츤저시증대해기생전용적주요인소.실험결과표명,해기생전용회증가60％이상적계통조성.
