电子器件
電子器件
전자기건
JOURNAL OF ELECTRON DEVICES
2013年
2期
235-238
,共4页
MEMS传感器%加速度%动态特性%电路设计
MEMS傳感器%加速度%動態特性%電路設計
MEMS전감기%가속도%동태특성%전로설계
针对传统机械类传感器体积比较大、耗电量高、长期监测稳定性差的不足,研发出一种新颖的基于MEMS(微机械加工)技术的无线传感器.分析了加速度传感器的检测原理,设计了信号检测模块、微控制器模块及无线收发模块等硬件集成电路,并进行了软件实现.设计实验系统对所研发的加速度传感器动态特性进行了研究,实验结果表明:该传感器在不同的加速度输入输出反复实验中,具有良好的线性响应,线性拟合度在0.999％F.S以上,重复稳定性好,动态响应快,适用于结构的低频振动测试.
針對傳統機械類傳感器體積比較大、耗電量高、長期鑑測穩定性差的不足,研髮齣一種新穎的基于MEMS(微機械加工)技術的無線傳感器.分析瞭加速度傳感器的檢測原理,設計瞭信號檢測模塊、微控製器模塊及無線收髮模塊等硬件集成電路,併進行瞭軟件實現.設計實驗繫統對所研髮的加速度傳感器動態特性進行瞭研究,實驗結果錶明:該傳感器在不同的加速度輸入輸齣反複實驗中,具有良好的線性響應,線性擬閤度在0.999％F.S以上,重複穩定性好,動態響應快,適用于結構的低頻振動測試.
침대전통궤계류전감기체적비교대、모전량고、장기감측은정성차적불족,연발출일충신영적기우MEMS(미궤계가공)기술적무선전감기.분석료가속도전감기적검측원리,설계료신호검측모괴、미공제기모괴급무선수발모괴등경건집성전로,병진행료연건실현.설계실험계통대소연발적가속도전감기동태특성진행료연구,실험결과표명:해전감기재불동적가속도수입수출반복실험중,구유량호적선성향응,선성의합도재0.999％F.S이상,중복은정성호,동태향응쾌,괄용우결구적저빈진동측시.
