西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2013年
4期
283-288
,共6页
薄膜光学%渐变折射率薄膜%折射率轮廓%分层等效原理%薄膜光学常数
薄膜光學%漸變摺射率薄膜%摺射率輪廓%分層等效原理%薄膜光學常數
박막광학%점변절사솔박막%절사솔륜곽%분층등효원리%박막광학상수
optical thin film%inhomogeneous films%profile%stratification equivalence%optical parameters
对实际渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行测量评价.从线性渐变折射率薄膜的折射率轮廓和反射率光谱之间的关系出发,采用反演技术结合梯度薄膜与渐变折射率薄膜的等效原理,对渐变折射率薄膜的折射率轮廓进行模拟测量,得到了实际镀制的渐变折射率薄膜的折射率轮廓.结果表明,使用该方法得到的折射轮廓对应的反射率曲线和实测反射率曲线直接的误差不超过0.4％.
對實際漸變摺射率薄膜的摺射率輪廓進行測量評價.從線性漸變摺射率薄膜的摺射率輪廓和反射率光譜之間的關繫齣髮,採用反縯技術結閤梯度薄膜與漸變摺射率薄膜的等效原理,對漸變摺射率薄膜的摺射率輪廓進行模擬測量,得到瞭實際鍍製的漸變摺射率薄膜的摺射率輪廓.結果錶明,使用該方法得到的摺射輪廓對應的反射率麯線和實測反射率麯線直接的誤差不超過0.4％.
대실제점변절사솔박막적절사솔륜곽진행측량평개.종선성점변절사솔박막적절사솔륜곽화반사솔광보지간적관계출발,채용반연기술결합제도박막여점변절사솔박막적등효원리,대점변절사솔박막적절사솔륜곽진행모의측량,득도료실제도제적점변절사솔박막적절사솔륜곽.결과표명,사용해방법득도적절사륜곽대응적반사솔곡선화실측반사솔곡선직접적오차불초과0.4％.
