华北水利水电学院学报
華北水利水電學院學報
화북수이수전학원학보
JOURNAL OF NORTH CHINA INSTITUTE OF WATER CONSERVANCY AND HYDROELECTRIC POWER
2013年
4期
98-101
,共4页
纳米压印%激光辅助压印%ANSYS%有限元分析
納米壓印%激光輔助壓印%ANSYS%有限元分析
납미압인%격광보조압인%ANSYS%유한원분석
随着光刻技术的发展,电子器件的尺寸越来越小,已经进入纳米量级.几十年来,光学光刻技术在半导体加工图形转移的过程中一直扮演着重要角色,纳米压印技术以产量高、成本低、工艺流程简单的优点逐渐在图形转移技术中崭露头角.介绍了一种新型的激光辅助纳米压印技术,基于有限元方法并借助ANSYS软件对压印过程中二维的熔融层填充过程进行模拟.Si基板在激光作用下形成熔融层时,采用Mooney-Rivlin模型表示熔融层的机械性能.通过试验分析了深宽比、转移图形宽度和占空比对聚合物变形的影响,总结了技术的可行性与优越性,为以后纳米压印过程的优化提供了参数支持.
隨著光刻技術的髮展,電子器件的呎吋越來越小,已經進入納米量級.幾十年來,光學光刻技術在半導體加工圖形轉移的過程中一直扮縯著重要角色,納米壓印技術以產量高、成本低、工藝流程簡單的優點逐漸在圖形轉移技術中嶄露頭角.介紹瞭一種新型的激光輔助納米壓印技術,基于有限元方法併藉助ANSYS軟件對壓印過程中二維的鎔融層填充過程進行模擬.Si基闆在激光作用下形成鎔融層時,採用Mooney-Rivlin模型錶示鎔融層的機械性能.通過試驗分析瞭深寬比、轉移圖形寬度和佔空比對聚閤物變形的影響,總結瞭技術的可行性與優越性,為以後納米壓印過程的優化提供瞭參數支持.
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