传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
9期
115-117,121
,共4页
关冉%张卫平%许仲兴%张弓%成宇翔%陈文元
關冉%張衛平%許仲興%張弓%成宇翔%陳文元
관염%장위평%허중흥%장궁%성우상%진문원
压电%圆盘谐振体%微机械陀螺%厚度剪切振动%MEMS工艺
壓電%圓盤諧振體%微機械陀螺%厚度剪切振動%MEMS工藝
압전%원반해진체%미궤계타라%후도전절진동%MEMS공예
piezoelectric%disk resonator%micromachined gyroscope%thickness-shear vibration%MEMS technology
基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现.为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆盘微陀螺.厚度剪切振动模态使得陀螺可以通过在压电基片上下表面制作金属电极的MEMS工艺进行加工.通过对加工出的陀螺器件进行阻抗分析发现加工出的陀螺具有良好的对称性,基于阻抗分析得到的品质因数通过有限元分析可知,陀螺可实现高灵敏度、低非线性度、大量程、低角速度耦合误差等性能.
基于麵內振動模態工作的圓盤陀螺在利用壓電方式驅動和檢測時,需要在圓盤振動體側壁上加工壓電換能器,很難由MEMS工藝實現.為實現壓電圓盤陀螺的小型化,設計製作瞭一種直接由壓電材料作為振動體,基于厚度剪切振動模態工作的新型壓電圓盤微陀螺.厚度剪切振動模態使得陀螺可以通過在壓電基片上下錶麵製作金屬電極的MEMS工藝進行加工.通過對加工齣的陀螺器件進行阻抗分析髮現加工齣的陀螺具有良好的對稱性,基于阻抗分析得到的品質因數通過有限元分析可知,陀螺可實現高靈敏度、低非線性度、大量程、低角速度耦閤誤差等性能.
기우면내진동모태공작적원반타라재이용압전방식구동화검측시,수요재원반진동체측벽상가공압전환능기,흔난유MEMS공예실현.위실현압전원반타라적소형화,설계제작료일충직접유압전재료작위진동체,기우후도전절진동모태공작적신형압전원반미타라.후도전절진동모태사득타라가이통과재압전기편상하표면제작금속전겁적MEMS공예진행가공.통과대가공출적타라기건진행조항분석발현가공출적타라구유량호적대칭성,기우조항분석득도적품질인수통과유한원분석가지,타라가실현고령민도、저비선성도、대량정、저각속도우합오차등성능.
