传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
9期
46-49
,共4页
孙晋川%乔大勇%任森%邓进军
孫晉川%喬大勇%任森%鄧進軍
손진천%교대용%임삼%산진군
SOI%Q值%空气阻尼%水平振动%开孔硅微谐振器
SOI%Q值%空氣阻尼%水平振動%開孔硅微諧振器
SOI%Q치%공기조니%수평진동%개공규미해진기
SOI%Q value%air damping%horizontal vibration%perforated silicon micro resonator
基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上.但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小.增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放.由此提出了一种减小空气阻尼来提高水平振动谐振器Q值的方法,通过设计一系列不同形状的开孔硅微谐振器并比较其实验数据,得到最优的释放孔结构以减小谐振器所受的空气阻尼从而得到更高的Q值.该研究对水平振动谐振器结构设计有一定意义.
基于SOI工藝的水平振動梳狀硅微諧振器的品質因數Q值在真空封裝下能達到105量級以上.但是在常壓下,由于受到空氣阻尼的影響,其Q值往往降至102量級甚至更小.增加諧振器質量可以提高Q值,但是會增大諧振器麵積使絕緣層難以釋放.由此提齣瞭一種減小空氣阻尼來提高水平振動諧振器Q值的方法,通過設計一繫列不同形狀的開孔硅微諧振器併比較其實驗數據,得到最優的釋放孔結構以減小諧振器所受的空氣阻尼從而得到更高的Q值.該研究對水平振動諧振器結構設計有一定意義.
기우SOI공예적수평진동소상규미해진기적품질인수Q치재진공봉장하능체도105량급이상.단시재상압하,유우수도공기조니적영향,기Q치왕왕강지102량급심지경소.증가해진기질량가이제고Q치,단시회증대해진기면적사절연층난이석방.유차제출료일충감소공기조니래제고수평진동해진기Q치적방법,통과설계일계렬불동형상적개공규미해진기병비교기실험수거,득도최우적석방공결구이감소해진기소수적공기조니종이득도경고적Q치.해연구대수평진동해진기결구설계유일정의의.
