光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2013年
12期
3050-3057
,共8页
李宝让%杨洋%杨智伟%程伟良
李寶讓%楊洋%楊智偉%程偉良
리보양%양양%양지위%정위량
Lu2Ti2O7薄膜%溶胶凝胶法%电子显微镜%电学性能%表面粗糙度
Lu2Ti2O7薄膜%溶膠凝膠法%電子顯微鏡%電學性能%錶麵粗糙度
Lu2Ti2O7박막%용효응효법%전자현미경%전학성능%표면조조도
Lu2Ti2O7 thin films%sol gel method%electron microscopy%electric property%surface roughness
研究了Lu2Ti2O7薄膜的结构、制备和性能.以Si作为基体,采用溶胶凝胶法研究了各种因素:煅烧温度、保温时间、转速和涂层的数量等对薄膜质量包括表面均方根粗糙度等的影响,并在此基础上研究了薄膜的电学性能.研究表明:在650～1 050 ℃能够形成Lu2Ti2O7相,在750 ℃时能够获得Lu2TiO5含量较少的理想薄膜.研究同时表明:温度对表面均方根粗糙度影响相对较大.Lu2Ti2O7薄膜电学性能研究表明:保温时间有利于Lu2Ti2O7的低温相变和Lu2TiO5相的形成,但是对薄膜电学性能的影响相对较小.采用硝酸镥和二氧化钛作为前驱体,通过溶胶凝胶法可以制备致密的Lu2Ti2O7薄膜,该薄膜制备过程中有中间相Lu2 Ti5产生,但该相可通过改变前驱体比例、延长保温时间或者提高煅烧温度来消除.
研究瞭Lu2Ti2O7薄膜的結構、製備和性能.以Si作為基體,採用溶膠凝膠法研究瞭各種因素:煅燒溫度、保溫時間、轉速和塗層的數量等對薄膜質量包括錶麵均方根粗糙度等的影響,併在此基礎上研究瞭薄膜的電學性能.研究錶明:在650～1 050 ℃能夠形成Lu2Ti2O7相,在750 ℃時能夠穫得Lu2TiO5含量較少的理想薄膜.研究同時錶明:溫度對錶麵均方根粗糙度影響相對較大.Lu2Ti2O7薄膜電學性能研究錶明:保溫時間有利于Lu2Ti2O7的低溫相變和Lu2TiO5相的形成,但是對薄膜電學性能的影響相對較小.採用硝痠镥和二氧化鈦作為前驅體,通過溶膠凝膠法可以製備緻密的Lu2Ti2O7薄膜,該薄膜製備過程中有中間相Lu2 Ti5產生,但該相可通過改變前驅體比例、延長保溫時間或者提高煅燒溫度來消除.
연구료Lu2Ti2O7박막적결구、제비화성능.이Si작위기체,채용용효응효법연구료각충인소:단소온도、보온시간、전속화도층적수량등대박막질량포괄표면균방근조조도등적영향,병재차기출상연구료박막적전학성능.연구표명:재650～1 050 ℃능구형성Lu2Ti2O7상,재750 ℃시능구획득Lu2TiO5함량교소적이상박막.연구동시표명:온도대표면균방근조조도영향상대교대.Lu2Ti2O7박막전학성능연구표명:보온시간유리우Lu2Ti2O7적저온상변화Lu2TiO5상적형성,단시대박막전학성능적영향상대교소.채용초산노화이양화태작위전구체,통과용효응효법가이제비치밀적Lu2Ti2O7박막,해박막제비과정중유중간상Lu2 Ti5산생,단해상가통과개변전구체비례、연장보온시간혹자제고단소온도래소제.
