东方电气评论
東方電氣評論
동방전기평론
2012年
4期
7-11,18
,共6页
光电子平台%材料与器件%GaAs太阳能电池
光電子平檯%材料與器件%GaAs太暘能電池
광전자평태%재료여기건%GaAs태양능전지
光电子平台是光电子器件研发的基础平台,可用于高效叠层薄膜光伏电池、量子激光器、探测器、传感器等光电子器件的研发及制备.本文从材料生长、器件工艺、测试平台、安全设计4个方面讨论了以MOCVD为基础的光电子平台的总体设计思路,包括了制备平台设计、材料生长仿真模拟分析、工艺优化、过程控制优化、测试分析设备整合优化、高危气体管道改造、尾气回收装置设计的实施方案.平台设计将主要为Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料生长以及器件制作服务,通过不断设计改进最终建设成为集前沿材料生长研究和新型光电子器件研发的光电子技术科学研究平台.
光電子平檯是光電子器件研髮的基礎平檯,可用于高效疊層薄膜光伏電池、量子激光器、探測器、傳感器等光電子器件的研髮及製備.本文從材料生長、器件工藝、測試平檯、安全設計4箇方麵討論瞭以MOCVD為基礎的光電子平檯的總體設計思路,包括瞭製備平檯設計、材料生長倣真模擬分析、工藝優化、過程控製優化、測試分析設備整閤優化、高危氣體管道改造、尾氣迴收裝置設計的實施方案.平檯設計將主要為Ⅲ-Ⅴ族化閤物半導體材料生長以及器件製作服務,通過不斷設計改進最終建設成為集前沿材料生長研究和新型光電子器件研髮的光電子技術科學研究平檯.
광전자평태시광전자기건연발적기출평태,가용우고효첩층박막광복전지、양자격광기、탐측기、전감기등광전자기건적연발급제비.본문종재료생장、기건공예、측시평태、안전설계4개방면토론료이MOCVD위기출적광전자평태적총체설계사로,포괄료제비평태설계、재료생장방진모의분석、공예우화、과정공제우화、측시분석설비정합우화、고위기체관도개조、미기회수장치설계적실시방안.평태설계장주요위Ⅲ-Ⅴ족화합물반도체재료생장이급기건제작복무,통과불단설계개진최종건설성위집전연재료생장연구화신형광전자기건연발적광전자기술과학연구평태.
