河南科技
河南科技
하남과기
HENANKEJI
2013年
18期
59,61
,共2页
多晶硅铸锭炉%氩气%冷却系统%自然对流%强制对流
多晶硅鑄錠爐%氬氣%冷卻繫統%自然對流%彊製對流
다정규주정로%아기%냉각계통%자연대류%강제대류
针对国内晶体硅生长设备现状,简要认识了多晶硅铸锭炉的技术发展瓶颈,从外围电力系统、氩气供应做了简单介绍,重点介绍了冷却水路系统的计算、研究.
針對國內晶體硅生長設備現狀,簡要認識瞭多晶硅鑄錠爐的技術髮展瓶頸,從外圍電力繫統、氬氣供應做瞭簡單介紹,重點介紹瞭冷卻水路繫統的計算、研究.
침대국내정체규생장설비현상,간요인식료다정규주정로적기술발전병경,종외위전력계통、아기공응주료간단개소,중점개소료냉각수로계통적계산、연구.
