热喷涂技术
熱噴塗技術
열분도기술
THERMAL SPRAY TECHNOLOGY
2012年
3期
84-88
,共5页
多弧离子镀%TiAlN涂层%TC11钛合金%微观结构%性能
多弧離子鍍%TiAlN塗層%TC11鈦閤金%微觀結構%性能
다호리자도%TiAlN도층%TC11태합금%미관결구%성능
Multi-arc Ion Plating%TiA1N film%TC 11 titanium alloy%Microstructure%Properties
采用多弧离子镀技术在TC11钛合金基体上沉积了TiAlN涂层。金相截面组织观察和扫描电镜表面形貌照片显示，制备出的膜层连续、光滑、孑L隙率低、组织致密；X射线衍射分析表明，膜层的相结构中大致含有以下组成相：（Ti，A1）N、Ti2A1N、Ti。用EDS能谱分析对膜层中的元素含量进行了测定，发现Al元素出现了成分负偏析。性能测试表明，TiAlN膜具有较高的硬度和膜／基结合力。
採用多弧離子鍍技術在TC11鈦閤金基體上沉積瞭TiAlN塗層。金相截麵組織觀察和掃描電鏡錶麵形貌照片顯示，製備齣的膜層連續、光滑、孑L隙率低、組織緻密；X射線衍射分析錶明，膜層的相結構中大緻含有以下組成相：（Ti，A1）N、Ti2A1N、Ti。用EDS能譜分析對膜層中的元素含量進行瞭測定，髮現Al元素齣現瞭成分負偏析。性能測試錶明，TiAlN膜具有較高的硬度和膜／基結閤力。
채용다호리자도기술재TC11태합금기체상침적료TiAlN도층。금상절면조직관찰화소묘전경표면형모조편현시，제비출적막층련속、광활、혈L극솔저、조직치밀；X사선연사분석표명，막층적상결구중대치함유이하조성상：（Ti，A1）N、Ti2A1N、Ti。용EDS능보분석대막층중적원소함량진행료측정，발현Al원소출현료성분부편석。성능측시표명，TiAlN막구유교고적경도화막／기결합력。
TiA1N coating was deposited on TC11 titanium alloy by multi-arc ion plating technique. Through metallograph on cross section and electron microscope, continuous, smooth, low-porosity and tight films can be seen. X-ray diffraction analysis (XRD) show that the films mainly have the following phases: (Ti, A1)N, Ti2A1N, Ti. Finally, the EDS is used to measure the element contents of TiA1N films.The content of AI in the TiAIN film was found to be less than that in the target. Properties experiments show that TiA1N films have high micro-hardness and film-matrix strength.
