齐鲁师范学院学报
齊魯師範學院學報
제로사범학원학보
JOURNAL OF SHANDONG EDUCATION INSTITUTE
2012年
5期
42-44
,共3页
巨磁阻抗效应%临界频率%趋肤深度%退火
巨磁阻抗效應%臨界頻率%趨膚深度%退火
거자조항효응%림계빈솔%추부심도%퇴화
Giant magneto - impedance (GMI) effect%Critical frequency%Skin effect%Annealing
用射频溅射法制备了FeZrBNb合金薄膜，研究薄膜厚度对巨磁阻抗效应的影响。结果表明，适当增大薄膜的厚度可以降低薄膜样品的临界频率，提高阻抗比。频率为13MHz时，厚度为10．8μm的薄膜样品的最大纵向阻抗比达到了5．9％，高于3．5μm的薄膜样品（最大纵向阻抗比为1．9％）；而临界频率为400kHz，远低于薄膜厚度为3．5μm的样品（临界频率为1．3MHz）。
用射頻濺射法製備瞭FeZrBNb閤金薄膜，研究薄膜厚度對巨磁阻抗效應的影響。結果錶明，適噹增大薄膜的厚度可以降低薄膜樣品的臨界頻率，提高阻抗比。頻率為13MHz時，厚度為10．8μm的薄膜樣品的最大縱嚮阻抗比達到瞭5．9％，高于3．5μm的薄膜樣品（最大縱嚮阻抗比為1．9％）；而臨界頻率為400kHz，遠低于薄膜厚度為3．5μm的樣品（臨界頻率為1．3MHz）。
용사빈천사법제비료FeZrBNb합금박막，연구박막후도대거자조항효응적영향。결과표명，괄당증대박막적후도가이강저박막양품적림계빈솔，제고조항비。빈솔위13MHz시，후도위10．8μm적박막양품적최대종향조항비체도료5．9％，고우3．5μm적박막양품（최대종향조항비위1．9％）；이림계빈솔위400kHz，원저우박막후도위3．5μm적양품（림계빈솔위1．3MHz）。
The FeZrBNb soft magnetic alloy films were deposited by radio frequency sputtering on the substrate of single crystal Si. Giant magneto- impedance (GMI) effect was investigated in different thickness FeZrBNb single films. The results show that increasing the thickness of the film can reduce the critical frequency, improve the GMI ratios. The maximum values of longitudinal GMI ratios are 5.9% and 1.9% for 10.8μm and 3.5μm thin films, respectively, at the frequency of 13MHz. The critical frequencies are 400kHz and 1.3MHz for 10.8μm and 3.5μm thin films, respectively.
