陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2013年
1期
5-10
,共6页
陈俊%胡跃辉%胡鸿豪%张效华%陈义川%陈新华
陳俊%鬍躍輝%鬍鴻豪%張效華%陳義川%陳新華
진준%호약휘%호홍호%장효화%진의천%진신화
透明氧化物半导体%ZnO薄膜%Sn掺杂%溶胶-凝胶法
透明氧化物半導體%ZnO薄膜%Sn摻雜%溶膠-凝膠法
투명양화물반도체%ZnO박막%Sn참잡%용효-응효법
采用溶胶-凝胶法在石英玻璃上制备掺锡氧化锌(ZnO∶Sn)透明导电薄膜,研究了干燥温度和退火温度对薄膜结晶度、微观结构、光电特性的影响.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见光光度计(UV-VIS)和四探针法等分析方法对ZnO∶Sn薄膜进行分析表征,结果表明:在300℃温度下干燥10min后,在700℃空气中退火1h制备出的ZnO∶Sn薄膜表面平整,具有c轴择优取向,平均透过率达到92％以上,电阻率仅为13.6Ω· cm.
採用溶膠-凝膠法在石英玻璃上製備摻錫氧化鋅(ZnO∶Sn)透明導電薄膜,研究瞭榦燥溫度和退火溫度對薄膜結晶度、微觀結構、光電特性的影響.採用X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、紫外-可見光光度計(UV-VIS)和四探針法等分析方法對ZnO∶Sn薄膜進行分析錶徵,結果錶明:在300℃溫度下榦燥10min後,在700℃空氣中退火1h製備齣的ZnO∶Sn薄膜錶麵平整,具有c軸擇優取嚮,平均透過率達到92％以上,電阻率僅為13.6Ω· cm.
채용용효-응효법재석영파리상제비참석양화자(ZnO∶Sn)투명도전박막,연구료간조온도화퇴화온도대박막결정도、미관결구、광전특성적영향.채용X사선연사의(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、자외-가견광광도계(UV-VIS)화사탐침법등분석방법대ZnO∶Sn박막진행분석표정,결과표명:재300℃온도하간조10min후,재700℃공기중퇴화1h제비출적ZnO∶Sn박막표면평정,구유c축택우취향,평균투과솔체도92％이상,전조솔부위13.6Ω· cm.
