陶瓷学报
陶瓷學報
도자학보
JOURNAL OF CERAMICS
2013年
1期
1-4
,共4页
唐惠东%孙媛媛%李龙珠%谭寿洪
唐惠東%孫媛媛%李龍珠%譚壽洪
당혜동%손원원%리룡주%담수홍
Si-C-O-N涂层%软X射线%EUV%UV-VIS-NIR%反射率
Si-C-O-N塗層%軟X射線%EUV%UV-VIS-NIR%反射率
Si-C-O-N도층%연X사선%EUV%UV-VIS-NIR%반사솔
利用射频磁控溅射法,在SSiC陶瓷表面沉积一层无定形Si-C-O-N涂层,测试了抛光后的涂层和SSiC陶瓷在不同波段的反射率情况.结果表明:在软X射线波段,涂层的反射率小于SSiC陶瓷；在EUV波段,两者反射率基本相当；在UV-VIS-NIR波段,涂层的反射率优于SSiC陶瓷.这主要归因于表面粗糙度和涂层中氧元素对反射率共同作用的结果.
利用射頻磁控濺射法,在SSiC陶瓷錶麵沉積一層無定形Si-C-O-N塗層,測試瞭拋光後的塗層和SSiC陶瓷在不同波段的反射率情況.結果錶明:在軟X射線波段,塗層的反射率小于SSiC陶瓷；在EUV波段,兩者反射率基本相噹；在UV-VIS-NIR波段,塗層的反射率優于SSiC陶瓷.這主要歸因于錶麵粗糙度和塗層中氧元素對反射率共同作用的結果.
이용사빈자공천사법,재SSiC도자표면침적일층무정형Si-C-O-N도층,측시료포광후적도층화SSiC도자재불동파단적반사솔정황.결과표명:재연X사선파단,도층적반사솔소우SSiC도자；재EUV파단,량자반사솔기본상당；재UV-VIS-NIR파단,도층적반사솔우우SSiC도자.저주요귀인우표면조조도화도층중양원소대반사솔공동작용적결과.
