实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2013年
3期
44-46
,共3页
图案%金膜%光刻%硅基质
圖案%金膜%光刻%硅基質
도안%금막%광각%규기질
介绍了一项材料化学综合实验.该实验利用紫外光刻技术在硅基底上制备出图案化的金膜,采用冷热台偏光显微镜对硅片上图形的质量进行检查.通过该实验,不仅可以了解光刻技术的相关基础知识,掌握图案化金膜的常见制备方法和常用表征手段,还能在后续的实验中以图案化Au膜作为模板,设计制备出多种图案化的半导体、聚合物纳米结构.该实验可以在本科生及研究生实验教学中推广.
介紹瞭一項材料化學綜閤實驗.該實驗利用紫外光刻技術在硅基底上製備齣圖案化的金膜,採用冷熱檯偏光顯微鏡對硅片上圖形的質量進行檢查.通過該實驗,不僅可以瞭解光刻技術的相關基礎知識,掌握圖案化金膜的常見製備方法和常用錶徵手段,還能在後續的實驗中以圖案化Au膜作為模闆,設計製備齣多種圖案化的半導體、聚閤物納米結構.該實驗可以在本科生及研究生實驗教學中推廣.
개소료일항재료화학종합실험.해실험이용자외광각기술재규기저상제비출도안화적금막,채용랭열태편광현미경대규편상도형적질량진행검사.통과해실험,불부가이료해광각기술적상관기출지식,장악도안화금막적상견제비방법화상용표정수단,환능재후속적실험중이도안화Au막작위모판,설계제비출다충도안화적반도체、취합물납미결구.해실험가이재본과생급연구생실험교학중추엄.
