现代制造工程
現代製造工程
현대제조공정
MODERN MANUFACTURING ENGINEERING
2013年
4期
114-117
,共4页
气体静压导轨%电容法%气膜厚度%供气压力%介电常数
氣體靜壓導軌%電容法%氣膜厚度%供氣壓力%介電常數
기체정압도궤%전용법%기막후도%공기압력%개전상수
基于电容法测量气体静压导轨气膜厚度的原理,进行供气压力与气膜介电常数相关性的研究.实验结果表明,环境条件不变的情况下,供气压力范围在0.1～0.48MPa之间,气膜介电常数与供气压力呈显著负相关并符合4阶多项式关系,拟合决定系数R2均大于0.94,该结果为气体静压导轨气膜精准电容模型的建立提供了依据.
基于電容法測量氣體靜壓導軌氣膜厚度的原理,進行供氣壓力與氣膜介電常數相關性的研究.實驗結果錶明,環境條件不變的情況下,供氣壓力範圍在0.1～0.48MPa之間,氣膜介電常數與供氣壓力呈顯著負相關併符閤4階多項式關繫,擬閤決定繫數R2均大于0.94,該結果為氣體靜壓導軌氣膜精準電容模型的建立提供瞭依據.
기우전용법측량기체정압도궤기막후도적원리,진행공기압력여기막개전상수상관성적연구.실험결과표명,배경조건불변적정황하,공기압력범위재0.1～0.48MPa지간,기막개전상수여공기압력정현저부상관병부합4계다항식관계,의합결정계수R2균대우0.94,해결과위기체정압도궤기막정준전용모형적건립제공료의거.
