机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2013年
5期
167-172
,共6页
王树桥%幸研%田秘%仇晓黎%齐建昌
王樹橋%倖研%田祕%仇曉黎%齊建昌
왕수교%행연%전비%구효려%제건창
Metropolis蒙特卡罗法%湿法刻蚀%单晶硅%各向异性
Metropolis矇特卡囉法%濕法刻蝕%單晶硅%各嚮異性
Metropolis몽특잡라법%습법각식%단정규%각향이성
提出—种混合进化算法的Metropolis蒙特卡罗湿法刻蚀新工艺模型和改进的表面原子移除概率函数.依据单晶硅典型晶面的刻蚀速度,新工艺模型能够自动获得基于原子模型的蒙特卡罗法能量参数.改进的表面原子移除概率函数采用四指数的表面原子配置分类法,更加精确地描述刻蚀反应中表面结构的变化过程,增强了蒙特卡罗模型的仿真能力.在多种刻蚀系统,不同浓度和温度条件下的计算结果与试验数据对比表明,任意(h,k,l)晶面的各向异性刻蚀速度曲线能够与试验结果一致.与现有方法相比,新的移除概率函数能够表示刻蚀速度各向异性曲线在Si(100)和Si(110)临近晶面同时出现局部最小点的情形,并且计算精度显著提高.通过对三维微结构刻蚀过程的准确模拟,验证了Metropolis蒙特卡罗工艺模型的有效性.
提齣—種混閤進化算法的Metropolis矇特卡囉濕法刻蝕新工藝模型和改進的錶麵原子移除概率函數.依據單晶硅典型晶麵的刻蝕速度,新工藝模型能夠自動穫得基于原子模型的矇特卡囉法能量參數.改進的錶麵原子移除概率函數採用四指數的錶麵原子配置分類法,更加精確地描述刻蝕反應中錶麵結構的變化過程,增彊瞭矇特卡囉模型的倣真能力.在多種刻蝕繫統,不同濃度和溫度條件下的計算結果與試驗數據對比錶明,任意(h,k,l)晶麵的各嚮異性刻蝕速度麯線能夠與試驗結果一緻.與現有方法相比,新的移除概率函數能夠錶示刻蝕速度各嚮異性麯線在Si(100)和Si(110)臨近晶麵同時齣現跼部最小點的情形,併且計算精度顯著提高.通過對三維微結構刻蝕過程的準確模擬,驗證瞭Metropolis矇特卡囉工藝模型的有效性.
제출—충혼합진화산법적Metropolis몽특잡라습법각식신공예모형화개진적표면원자이제개솔함수.의거단정규전형정면적각식속도,신공예모형능구자동획득기우원자모형적몽특잡라법능량삼수.개진적표면원자이제개솔함수채용사지수적표면원자배치분류법,경가정학지묘술각식반응중표면결구적변화과정,증강료몽특잡라모형적방진능력.재다충각식계통,불동농도화온도조건하적계산결과여시험수거대비표명,임의(h,k,l)정면적각향이성각식속도곡선능구여시험결과일치.여현유방법상비,신적이제개솔함수능구표시각식속도각향이성곡선재Si(100)화Si(110)림근정면동시출현국부최소점적정형,병차계산정도현저제고.통과대삼유미결구각식과정적준학모의,험증료Metropolis몽특잡라공예모형적유효성.
