武汉科技大学学报（自然科学版）
武漢科技大學學報（自然科學版）
무한과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
2期
122-125
,共4页
季燕青%高延敏%李思莹%代仕梅
季燕青%高延敏%李思瑩%代仕梅
계연청%고연민%리사형%대사매
ATO薄膜%Sb掺杂%光电性能
ATO薄膜%Sb摻雜%光電性能
ATO박막%Sb참잡%광전성능
以无水SnCl4和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶浸渍提拉镀膜法制备锑掺杂二氧化锡(ATO)导电薄膜,并采用XRD、SEM、霍尔效应(Halleffect)、四探针法、UV-Vis等测试手段表征不同Sb掺杂量对ATO薄膜结构及其光电性能的影响.结果表明,Sb的掺杂提高了ATO薄膜的导电性能和光学性能；Sb掺杂量为8％时ATO薄膜的电阻率低达0.048 Ω·cm,平均光透射率高达84％,薄膜的综合性能达到最佳.
以無水SnCl4和SbCl3為原料,採用溶膠-凝膠浸漬提拉鍍膜法製備銻摻雜二氧化錫(ATO)導電薄膜,併採用XRD、SEM、霍爾效應(Halleffect)、四探針法、UV-Vis等測試手段錶徵不同Sb摻雜量對ATO薄膜結構及其光電性能的影響.結果錶明,Sb的摻雜提高瞭ATO薄膜的導電性能和光學性能；Sb摻雜量為8％時ATO薄膜的電阻率低達0.048 Ω·cm,平均光透射率高達84％,薄膜的綜閤性能達到最佳.
이무수SnCl4화SbCl3위원료,채용용효-응효침지제랍도막법제비제참잡이양화석(ATO)도전박막,병채용XRD、SEM、곽이효응(Halleffect)、사탐침법、UV-Vis등측시수단표정불동Sb참잡량대ATO박막결구급기광전성능적영향.결과표명,Sb적참잡제고료ATO박막적도전성능화광학성능；Sb참잡량위8％시ATO박막적전조솔저체0.048 Ω·cm,평균광투사솔고체84％,박막적종합성능체도최가.
