南京理工大学学报（自然科学版）
南京理工大學學報（自然科學版）
남경리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
2013年
1期
94-100
,共7页
凤瑞%裘安萍%施芹%苏岩
鳳瑞%裘安萍%施芹%囌巖
봉서%구안평%시근%소암
硅微机械陀螺%固有频率%温度特性%振铃
硅微機械陀螺%固有頻率%溫度特性%振鈴
규미궤계타라%고유빈솔%온도특성%진령
为提高双质量硅微机械陀螺温度特性,该文对陀螺固有频率进行了温度特性研究.分别对杨氏模量温度系数、热应力和材料的热膨胀系数三种因素导致的陀螺固有频率随温度变化特性进行了理论数值计算和有限元仿真分析.为避免由于电路、杂散电容和其他因素引入的测量误差,提出了基于振铃原理的硅微机械陀螺固有频率测量方法.采用该方法在高精度恒温箱中测量了不同环境温度下双质量硅微机械陀螺的固有频率,并计算了陀螺固有频率温度系数.误差分析表明该测量方法测量高品质因数陀螺的固有频率精确度高.实验数据验证了理论分析和仿真结果,杨氏模量温度系数是导致硅微机械陀螺固有频率随温度变化的最主要因素,并且硅微陀螺固有频率与温度近似成线性关系.研究结论为双质量硅微机械陀螺的温度优化设计提供了理论依据.
為提高雙質量硅微機械陀螺溫度特性,該文對陀螺固有頻率進行瞭溫度特性研究.分彆對楊氏模量溫度繫數、熱應力和材料的熱膨脹繫數三種因素導緻的陀螺固有頻率隨溫度變化特性進行瞭理論數值計算和有限元倣真分析.為避免由于電路、雜散電容和其他因素引入的測量誤差,提齣瞭基于振鈴原理的硅微機械陀螺固有頻率測量方法.採用該方法在高精度恆溫箱中測量瞭不同環境溫度下雙質量硅微機械陀螺的固有頻率,併計算瞭陀螺固有頻率溫度繫數.誤差分析錶明該測量方法測量高品質因數陀螺的固有頻率精確度高.實驗數據驗證瞭理論分析和倣真結果,楊氏模量溫度繫數是導緻硅微機械陀螺固有頻率隨溫度變化的最主要因素,併且硅微陀螺固有頻率與溫度近似成線性關繫.研究結論為雙質量硅微機械陀螺的溫度優化設計提供瞭理論依據.
위제고쌍질량규미궤계타라온도특성,해문대타라고유빈솔진행료온도특성연구.분별대양씨모량온도계수、열응력화재료적열팽창계수삼충인소도치적타라고유빈솔수온도변화특성진행료이론수치계산화유한원방진분석.위피면유우전로、잡산전용화기타인소인입적측량오차,제출료기우진령원리적규미궤계타라고유빈솔측량방법.채용해방법재고정도항온상중측량료불동배경온도하쌍질량규미궤계타라적고유빈솔,병계산료타라고유빈솔온도계수.오차분석표명해측량방법측량고품질인수타라적고유빈솔정학도고.실험수거험증료이론분석화방진결과,양씨모량온도계수시도치규미궤계타라고유빈솔수온도변화적최주요인소,병차규미타라고유빈솔여온도근사성선성관계.연구결론위쌍질량규미궤계타라적온도우화설계제공료이론의거.
