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현대현시
ADVANCED DISPLAY
2012年
11期
34-37
,共4页
刘亮%杨国波%赵德友%王永茂%于翔%龚娟
劉亮%楊國波%趙德友%王永茂%于翔%龔娟
류량%양국파%조덕우%왕영무%우상%공연
液晶滴下%真空贴合系统%吸附单元%精密对位单元
液晶滴下%真空貼閤繫統%吸附單元%精密對位單元
액정적하%진공첩합계통%흡부단원%정밀대위단원
文章介绍了TFT-LCD生产中,液晶滴下(One Drop Filling,ODF)所涉及真空贴合系统(Vacuum Align System,VAS)的结构及其发展情况,概述了VAS的工艺过程,重点介绍了该系统中真空单元、基板吸附单元和基板对位单元及其发展.
文章介紹瞭TFT-LCD生產中,液晶滴下(One Drop Filling,ODF)所涉及真空貼閤繫統(Vacuum Align System,VAS)的結構及其髮展情況,概述瞭VAS的工藝過程,重點介紹瞭該繫統中真空單元、基闆吸附單元和基闆對位單元及其髮展.
문장개소료TFT-LCD생산중,액정적하(One Drop Filling,ODF)소섭급진공첩합계통(Vacuum Align System,VAS)적결구급기발전정황,개술료VAS적공예과정,중점개소료해계통중진공단원、기판흡부단원화기판대위단원급기발전.
