机电工程
機電工程
궤전공정
MECHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING MAGAZINE
2013年
3期
300-302,310
,共4页
李博%高艺%曹国华%柳常清
李博%高藝%曹國華%柳常清
리박%고예%조국화%류상청
二维位置敏感探测器%非线性校正%人工神经网络%微位移平台
二維位置敏感探測器%非線性校正%人工神經網絡%微位移平檯
이유위치민감탐측기%비선성교정%인공신경망락%미위이평태
针对轴系对中测试系统的核心器件—位置敏感探测器(PSD)存在较大非线性误差、PSD输出坐标不能正确反映入射光点实际位置的问题,为提高对中的测试精度,设计了基于PI微位移平台的在线校定装置,提出了基于BP神经网络的非线性校正算法,进行了数据采集和非线性校正实验,并对采集数据和校正后数据分别进行了Matlab仿真分析.研究结果表明,基于BP神经网络的算法实用高效,采用该算法校正后的PSD线性度误差均低于3.9 μm,极大地减少了非线性的影响,使得B区的线性度和数据置信度得到了大幅改善,在不增加成本和设备复杂度的前提下,有效提高了整个对中系统的精度.
針對軸繫對中測試繫統的覈心器件—位置敏感探測器(PSD)存在較大非線性誤差、PSD輸齣坐標不能正確反映入射光點實際位置的問題,為提高對中的測試精度,設計瞭基于PI微位移平檯的在線校定裝置,提齣瞭基于BP神經網絡的非線性校正算法,進行瞭數據採集和非線性校正實驗,併對採集數據和校正後數據分彆進行瞭Matlab倣真分析.研究結果錶明,基于BP神經網絡的算法實用高效,採用該算法校正後的PSD線性度誤差均低于3.9 μm,極大地減少瞭非線性的影響,使得B區的線性度和數據置信度得到瞭大幅改善,在不增加成本和設備複雜度的前提下,有效提高瞭整箇對中繫統的精度.
침대축계대중측시계통적핵심기건—위치민감탐측기(PSD)존재교대비선성오차、PSD수출좌표불능정학반영입사광점실제위치적문제,위제고대중적측시정도,설계료기우PI미위이평태적재선교정장치,제출료기우BP신경망락적비선성교정산법,진행료수거채집화비선성교정실험,병대채집수거화교정후수거분별진행료Matlab방진분석.연구결과표명,기우BP신경망락적산법실용고효,채용해산법교정후적PSD선성도오차균저우3.9 μm,겁대지감소료비선성적영향,사득B구적선성도화수거치신도득도료대폭개선,재불증가성본화설비복잡도적전제하,유효제고료정개대중계통적정도.
