功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2013年
7期
1012-1014,1019
,共4页
ZnO∶Nb薄膜%溅射功率%透明导电薄膜%磁控溅射
ZnO∶Nb薄膜%濺射功率%透明導電薄膜%磁控濺射
ZnO∶Nb박막%천사공솔%투명도전박막%자공천사
采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上沉积铌掺杂氧化锌(NZO)透明导电薄膜.通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)以及透射光谱等测试研究了溅射功率对薄膜结构、形貌以及光电性能的影响.实验结果表明NZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纤锌矿结构,最佳取向为(002)方向.溅射功率从40W增加到80W时,薄膜的电阻率迅速下降；功率超过80W时,电阻率趋于平稳.在溅射功率为100W时,电阻率具有最小值5.89×10-4Ω·cm,光学带隙具有最大值3.395eV.实验制备的NZO薄膜附着性能良好,在可见光范围内的平均透过率均超过86.6％.
採用直流磁控濺射法在玻璃襯底上沉積鈮摻雜氧化鋅(NZO)透明導電薄膜.通過X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)以及透射光譜等測試研究瞭濺射功率對薄膜結構、形貌以及光電性能的影響.實驗結果錶明NZO薄膜是多晶膜,具有ZnO的六角纖鋅礦結構,最佳取嚮為(002)方嚮.濺射功率從40W增加到80W時,薄膜的電阻率迅速下降；功率超過80W時,電阻率趨于平穩.在濺射功率為100W時,電阻率具有最小值5.89×10-4Ω·cm,光學帶隙具有最大值3.395eV.實驗製備的NZO薄膜附著性能良好,在可見光範圍內的平均透過率均超過86.6％.
채용직류자공천사법재파리츤저상침적니참잡양화자(NZO)투명도전박막.통과X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)이급투사광보등측시연구료천사공솔대박막결구、형모이급광전성능적영향.실험결과표명NZO박막시다정막,구유ZnO적륙각섬자광결구,최가취향위(002)방향.천사공솔종40W증가도80W시,박막적전조솔신속하강；공솔초과80W시,전조솔추우평은.재천사공솔위100W시,전조솔구유최소치5.89×10-4Ω·cm,광학대극구유최대치3.395eV.실험제비적NZO박막부착성능량호,재가견광범위내적평균투과솔균초과86.6％.
