中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
22期
3071-3074,3079
,共5页
阮鹏%陈智军%张亦居%王萌阳%蒋玲
阮鵬%陳智軍%張亦居%王萌暘%蔣玲
원붕%진지군%장역거%왕맹양%장령
声板波%模态%特征频率%边界条件
聲闆波%模態%特徵頻率%邊界條件
성판파%모태%특정빈솔%변계조건
acoustic plate mode wave(APM)%mode%characteristic frequency%boundary condition
以瑞利型声板波为例,在有限元软件COMSOL中建立了声板波二维模型,仿真分析了声板波在自由空间中和负载液体时的特征频率.仿真研究表明:无论基片背面为自由边界还是金属边界,负载液体时都会导致声板波A0和S0模态特征频率发生变化,从而可用于液体的特征参数检测;由于S0模态负载液体时会产生一定的衰减,因此声板波的A0模态比S0模态更适于液体传感.实际制作了两组声板波器件,采用网络分析仪测量了器件的幅频特性,实验结果与数值仿真结果基本一致,证明了理论模型的正确性和数值仿真的有效性.
以瑞利型聲闆波為例,在有限元軟件COMSOL中建立瞭聲闆波二維模型,倣真分析瞭聲闆波在自由空間中和負載液體時的特徵頻率.倣真研究錶明:無論基片揹麵為自由邊界還是金屬邊界,負載液體時都會導緻聲闆波A0和S0模態特徵頻率髮生變化,從而可用于液體的特徵參數檢測;由于S0模態負載液體時會產生一定的衰減,因此聲闆波的A0模態比S0模態更適于液體傳感.實際製作瞭兩組聲闆波器件,採用網絡分析儀測量瞭器件的幅頻特性,實驗結果與數值倣真結果基本一緻,證明瞭理論模型的正確性和數值倣真的有效性.
이서리형성판파위례,재유한원연건COMSOL중건립료성판파이유모형,방진분석료성판파재자유공간중화부재액체시적특정빈솔.방진연구표명:무론기편배면위자유변계환시금속변계,부재액체시도회도치성판파A0화S0모태특정빈솔발생변화,종이가용우액체적특정삼수검측;유우S0모태부재액체시회산생일정적쇠감,인차성판파적A0모태비S0모태경괄우액체전감.실제제작료량조성판파기건,채용망락분석의측량료기건적폭빈특성,실험결과여수치방진결과기본일치,증명료이론모형적정학성화수치방진적유효성.
