电镀与精饰
電鍍與精飾
전도여정식
PLATING & FINISHING
2013年
3期
5-6,12
,共3页
吕长东%黄关东%刘野%许世鹏%薛利
呂長東%黃關東%劉野%許世鵬%薛利
려장동%황관동%류야%허세붕%설리
TiN薄膜%磁控溅射%装饰镀%色泽%氮气
TiN薄膜%磁控濺射%裝飾鍍%色澤%氮氣
TiN박막%자공천사%장식도%색택%담기
在国产SA-6T型离子镀膜机上利用反应直流溅射方法,在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面制备TiN膜层,考察氮气流量对薄膜色泽的影响.用扫描电镜对薄膜表面形貌进行观测,发现沉积的TiN膜层质量良好,无孔洞,表面平整、致密.采用色度计定量测试了TiN薄膜的色泽,并分析了氮气流量对色泽的影响.结果表明,氮气流量即沉积气压对装饰镀TiN薄膜的颜色有重要影响,通过调节氮气流量,可有效改变TiN膜层的色泽.TiN薄膜的颜色随氮气流量增大而加深.
在國產SA-6T型離子鍍膜機上利用反應直流濺射方法,在拋光後的W18Cr4V高速鋼基體錶麵製備TiN膜層,攷察氮氣流量對薄膜色澤的影響.用掃描電鏡對薄膜錶麵形貌進行觀測,髮現沉積的TiN膜層質量良好,無孔洞,錶麵平整、緻密.採用色度計定量測試瞭TiN薄膜的色澤,併分析瞭氮氣流量對色澤的影響.結果錶明,氮氣流量即沉積氣壓對裝飾鍍TiN薄膜的顏色有重要影響,通過調節氮氣流量,可有效改變TiN膜層的色澤.TiN薄膜的顏色隨氮氣流量增大而加深.
재국산SA-6T형리자도막궤상이용반응직류천사방법,재포광후적W18Cr4V고속강기체표면제비TiN막층,고찰담기류량대박막색택적영향.용소묘전경대박막표면형모진행관측,발현침적적TiN막층질량량호,무공동,표면평정、치밀.채용색도계정량측시료TiN박막적색택,병분석료담기류량대색택적영향.결과표명,담기류량즉침적기압대장식도TiN박막적안색유중요영향,통과조절담기류량,가유효개변TiN막층적색택.TiN박막적안색수담기류량증대이가심.
