CAJ | 학술논문

光刻胶在集成电路(Integrated circuit,IC)制造、微机电系统(Micro electro-mechanical systems,MEMS)等工艺中广泛使用,价格昂贵、有毒.由于传统光刻胶薄膜制备多采用旋涂工艺,约95％的光刻胶浪费,且无害化处置成本高.为此,提高光刻胶的利用率一直是涂胶工艺追逐的目标之一.针对节省光刻胶的超声雾化喷涂薄膜制备工艺面临的薄膜均匀性问题,在自行开发的100 kHz的超声雾化喷嘴的基础上,通过分析载气的流场分布,建立雾化液滴在旋转、对称载气流场中的受力模型和碰撞模型,提出超声雾化液滴输运的数值模拟计算流程.超声雾化液滴输运的数值模拟有效地描述了供气流量、供液流量以及雾锥截面高度对雾锥液滴粒径和液滴浓度分布的影响.利用对AZ4999光刻胶雾锥特性的分析,在满足喷涂生产率的前提下,进行304.8 mm晶圆实际喷涂试验.试验结果表明超声雾化喷嘴不仅能够有效地实现光刻胶薄膜制备均匀性,而且较旋涂工艺节约80％以上的光刻胶,光刻胶利用率高.
광각효재집성전로(Integrated circuit,IC)제조、미궤전계통(Micro electro-mechanical systems,MEMS)등공예중엄범사용,개격앙귀、유독.유우전통광각효박막제비다채용선도공예,약95％적광각효낭비,차무해화처치성본고.위차,제고광각효적이용솔일직시도효공예추축적목표지일.침대절성광각효적초성무화분도박막제비공예면림적박막균균성문제,재자행개발적100 kHz적초성무화분취적기출상,통과분석재기적류장분포,건립무화액적재선전、대칭재기류장중적수력모형화팽당모형,제출초성무화액적수운적수치모의계산류정.초성무화액적수운적수치모의유효지묘술료공기류량、공액류량이급무추절면고도대무추액적립경화액적농도분포적영향.이용대AZ4999광각효무추특성적분석,재만족분도생산솔적전제하,진행304.8 mm정원실제분도시험.시험결과표명초성무화분취불부능구유효지실현광각효박막제비균균성,이차교선도공예절약80％이상적광각효,광각효이용솔고.