压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2013年
6期
788-791
,共4页
薄膜体声波谐振器%初应力%谐振频率%带宽%有效机电耦合系数
薄膜體聲波諧振器%初應力%諧振頻率%帶寬%有效機電耦閤繫數
박막체성파해진기%초응력%해진빈솔%대관%유효궤전우합계수
FBAR%initial stress%resonance frequency%bandwidth%effective electromechanical coupling factor
研究了含初应力压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度剪切振动的谐振特性.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦激励电压作用下的振动方程.然后根据边界条件,求出问题的解,得到了串联和并联谐振频率,并讨论了初应力对谐振频率、带宽和有效机电耦合系数的影响.给出了具体的数值算例,所得结果对于提高和改善FBAR的性能有参考意义.
研究瞭含初應力壓電薄膜體聲波諧振器(FBAR)厚度剪切振動的諧振特性.利用含初應力壓電材料的壓電彈性基本方程,推導齣理想FBAR在正絃激勵電壓作用下的振動方程.然後根據邊界條件,求齣問題的解,得到瞭串聯和併聯諧振頻率,併討論瞭初應力對諧振頻率、帶寬和有效機電耦閤繫數的影響.給齣瞭具體的數值算例,所得結果對于提高和改善FBAR的性能有參攷意義.
연구료함초응력압전박막체성파해진기(FBAR)후도전절진동적해진특성.이용함초응력압전재료적압전탄성기본방정,추도출이상FBAR재정현격려전압작용하적진동방정.연후근거변계조건,구출문제적해,득도료천련화병련해진빈솔,병토론료초응력대해진빈솔、대관화유효궤전우합계수적영향.급출료구체적수치산례,소득결과대우제고화개선FBAR적성능유삼고의의.
