航空精密制造技术
航空精密製造技術
항공정밀제조기술
AVIATION PRECISION MANUFACTURING TECHNOLOGY
2013年
5期
17-20,8
,共5页
侯良%解旭辉%周林%丁杰
侯良%解旭輝%週林%丁傑
후량%해욱휘%주림%정걸
离子束加工%去除函数%离子光学%聚焦性
離子束加工%去除函數%離子光學%聚焦性
리자속가공%거제함수%리자광학%취초성
ion beam figuring%removal function%ion optics%focusing
研究了聚焦离子光学系统设计的基本原理和方法,并在自研的离子光学系统上通过实验验证了设计的可行性.在一块直径为100mm的微晶玻璃上进行了去除函数的性能测试实验.在屏栅电压900eV,屏栅电流25mA,5mm光阑,20mm靶距的条件下获得了3.78mm宽度(FWHM),226nm/min去除量的高斯型去除函数.
研究瞭聚焦離子光學繫統設計的基本原理和方法,併在自研的離子光學繫統上通過實驗驗證瞭設計的可行性.在一塊直徑為100mm的微晶玻璃上進行瞭去除函數的性能測試實驗.在屏柵電壓900eV,屏柵電流25mA,5mm光闌,20mm靶距的條件下穫得瞭3.78mm寬度(FWHM),226nm/min去除量的高斯型去除函數.
연구료취초리자광학계통설계적기본원리화방법,병재자연적리자광학계통상통과실험험증료설계적가행성.재일괴직경위100mm적미정파리상진행료거제함수적성능측시실험.재병책전압900eV,병책전류25mA,5mm광란,20mm파거적조건하획득료3.78mm관도(FWHM),226nm/min거제량적고사형거제함수.
