CAJ | 학술논문

对电沉积过程中磁场、电场和流场进行数值分析并利用COMSOL仿真软件进行数值求解,得到了无磁场作用和0.2T垂直磁场作用下流体流场分布、镀液中电场分布以及不同时间段镀层厚度变化特征的数值结果,并对其进行了对比分析.为了解磁场对电沉积过程的影响规律,分别在施加0、0.2、0.4和0.8T磁场作用下电沉积镍,对比实验和数值分析结果表明,镀层厚度仿真值和实验值变化趋势接近,无磁场条件下平均绝对偏差为0.443μm,0.2T磁场条件下平均绝对偏差为0.425 μm.施加0.2T垂直磁场作用后,镀层的平均厚度较无磁场作用下增加了11％,与仿真结果一致,并且随着磁场强度的增加,镀层晶粒细化度、表面质量得到进一步提高.分析结果表明数值分析可以较为精确地反映磁场对电沉积过程的影响作用.
대전침적과정중자장、전장화류장진행수치분석병이용COMSOL방진연건진행수치구해,득도료무자장작용화0.2T수직자장작용하류체류장분포、도액중전장분포이급불동시간단도층후도변화특정적수치결과,병대기진행료대비분석.위료해자장대전침적과정적영향규률,분별재시가0、0.2、0.4화0.8T자장작용하전침적얼,대비실험화수치분석결과표명,도층후도방진치화실험치변화추세접근,무자장조건하평균절대편차위0.443μm,0.2T자장조건하평균절대편차위0.425 μm.시가0.2T수직자장작용후,도층적평균후도교무자장작용하증가료11％,여방진결과일치,병차수착자장강도적증가,도층정립세화도、표면질량득도진일보제고.분석결과표명수치분석가이교위정학지반영자장대전침적과정적영향작용.