传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
10期
52-53,60
,共3页
林斯佳%梁庭%李颖%高利聪%周雷刚
林斯佳%樑庭%李穎%高利聰%週雷剛
림사가%량정%리영%고리총%주뢰강
钽酸锂%减薄抛光%原子力显微镜%热释电系数
鐽痠鋰%減薄拋光%原子力顯微鏡%熱釋電繫數
단산리%감박포광%원자력현미경%열석전계수
LiTaO3 (LT)%thinning and polishing%AFM%pyroelectric coefficient
钽酸锂(LT)是一种优良的热释电材料,可以制作成高性能的热释电探测器.由于探测器的电压响应和探测率与红外敏感单元的厚度呈反比,所以对钽酸锂晶体的减薄成为器件成败的关键因素.采用化学机械抛光方法制作出厚度为30 μm的超薄钽酸锂晶体,并使用电荷积分法配合计算机自动测试系统,对不同厚度和表面粗糙度的晶体热释电系数进行了测试和计算.测得最终制备的晶体的热释电系数达到了204 μC·m-2K-1,显示出良好的热释电性能.
鐽痠鋰(LT)是一種優良的熱釋電材料,可以製作成高性能的熱釋電探測器.由于探測器的電壓響應和探測率與紅外敏感單元的厚度呈反比,所以對鐽痠鋰晶體的減薄成為器件成敗的關鍵因素.採用化學機械拋光方法製作齣厚度為30 μm的超薄鐽痠鋰晶體,併使用電荷積分法配閤計算機自動測試繫統,對不同厚度和錶麵粗糙度的晶體熱釋電繫數進行瞭測試和計算.測得最終製備的晶體的熱釋電繫數達到瞭204 μC·m-2K-1,顯示齣良好的熱釋電性能.
단산리(LT)시일충우량적열석전재료,가이제작성고성능적열석전탐측기.유우탐측기적전압향응화탐측솔여홍외민감단원적후도정반비,소이대단산리정체적감박성위기건성패적관건인소.채용화학궤계포광방법제작출후도위30 μm적초박단산리정체,병사용전하적분법배합계산궤자동측시계통,대불동후도화표면조조도적정체열석전계수진행료측시화계산.측득최종제비적정체적열석전계수체도료204 μC·m-2K-1,현시출량호적열석전성능.
