中国机械工程
中國機械工程
중국궤계공정
CHINA MECHANICAl ENGINEERING
2013年
18期
2495-2499
,共5页
潘继生%阎秋生%徐西鹏%童和平%祝江停%白振伟
潘繼生%閻鞦生%徐西鵬%童和平%祝江停%白振偉
반계생%염추생%서서붕%동화평%축강정%백진위
单晶SiC%集群磁流变%平面抛光%表面粗糙度
單晶SiC%集群磁流變%平麵拋光%錶麵粗糙度
단정SiC%집군자류변%평면포광%표면조조도
SiC single crystal%cluster magnetorheological%plane polishing%surface roughness
基于集群磁流变效应超光滑平面抛光理论及研制的试验装置,对单晶SiC基片进行了平面抛光试验研究.研究结果表明,金刚石磨料对单晶SiC基片具有较好的抛光效果;加工间隙在1.4mm以内抛光效果较好,30min抛光能使表面粗糙度值减小87％以上;随着加工时间的延长,表面粗糙度越来越小,加工30min时粗糙度减小率达到86.54％,继续延长加工时间,加工表面粗糙度趋向稳定.通过优化工艺参数对直径为50.8mm(2英寸)6H单晶SiC进行了集群磁流变平面抛光,并用原子力显微镜观察了试件加工前后的三维形貌和表面粗糙度,发现经过30min加工,表面粗糙度Ra从72.89nm减小至1.9nm,说明集群磁流变效应超光滑平面抛光用于抛光单晶SiC基片可行有效且效果显著.
基于集群磁流變效應超光滑平麵拋光理論及研製的試驗裝置,對單晶SiC基片進行瞭平麵拋光試驗研究.研究結果錶明,金剛石磨料對單晶SiC基片具有較好的拋光效果;加工間隙在1.4mm以內拋光效果較好,30min拋光能使錶麵粗糙度值減小87％以上;隨著加工時間的延長,錶麵粗糙度越來越小,加工30min時粗糙度減小率達到86.54％,繼續延長加工時間,加工錶麵粗糙度趨嚮穩定.通過優化工藝參數對直徑為50.8mm(2英吋)6H單晶SiC進行瞭集群磁流變平麵拋光,併用原子力顯微鏡觀察瞭試件加工前後的三維形貌和錶麵粗糙度,髮現經過30min加工,錶麵粗糙度Ra從72.89nm減小至1.9nm,說明集群磁流變效應超光滑平麵拋光用于拋光單晶SiC基片可行有效且效果顯著.
기우집군자류변효응초광활평면포광이론급연제적시험장치,대단정SiC기편진행료평면포광시험연구.연구결과표명,금강석마료대단정SiC기편구유교호적포광효과;가공간극재1.4mm이내포광효과교호,30min포광능사표면조조도치감소87％이상;수착가공시간적연장,표면조조도월래월소,가공30min시조조도감소솔체도86.54％,계속연장가공시간,가공표면조조도추향은정.통과우화공예삼수대직경위50.8mm(2영촌)6H단정SiC진행료집군자류변평면포광,병용원자력현미경관찰료시건가공전후적삼유형모화표면조조도,발현경과30min가공,표면조조도Ra종72.89nm감소지1.9nm,설명집군자류변효응초광활평면포광용우포광단정SiC기편가행유효차효과현저.
