稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2013年
11期
2384-2388
,共5页
杨臻%张平%蔡志海%底月兰%李奇%侯玉涛
楊臻%張平%蔡誌海%底月蘭%李奇%侯玉濤
양진%장평%채지해%저월란%리기%후옥도
固体自润滑%显微组织%摩擦学性能%成膜机理%磨损机制
固體自潤滑%顯微組織%摩抆學性能%成膜機理%磨損機製
고체자윤활%현미조직%마찰학성능%성막궤리%마손궤제
solid self-lubricant%microstructure%tribological properties%film-forming mechanism%frictional wear mechanism
采用磁控溅射与低温离子渗硫复合处理工艺原位合成了CrN/MoS2固体自润滑复合膜.采用X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱仪(AES)和扫描电子显微镜(SEM)等分析方法对CrN基固体自润滑复合膜的显微组织进行分析.并通过CETR滑动磨损试验机,对CrMoN复合膜及CrN/MoS2自润滑复合膜的摩擦学性能进行了比较研究;通过SEM对磨痕形貌进行了观察.结果显示,CrMoN复合膜经渗硫处理后,主要合成了MoS2润滑相,渗硫层厚度约为500 nm,主要相结构为CrN与MoS2及少量MoN.与CrMoN复合膜相比,CrN/MoS2固体自润滑复合膜摩擦系数较低、磨损体积较小,具有较好的耐磨性和减摩性.同时,对CrN/MoS2固体自润滑复合膜的成膜机理及磨损机制进行了探讨.
採用磁控濺射與低溫離子滲硫複閤處理工藝原位閤成瞭CrN/MoS2固體自潤滑複閤膜.採用X射線光電子能譜(XPS)、俄歇電子能譜儀(AES)和掃描電子顯微鏡(SEM)等分析方法對CrN基固體自潤滑複閤膜的顯微組織進行分析.併通過CETR滑動磨損試驗機,對CrMoN複閤膜及CrN/MoS2自潤滑複閤膜的摩抆學性能進行瞭比較研究;通過SEM對磨痕形貌進行瞭觀察.結果顯示,CrMoN複閤膜經滲硫處理後,主要閤成瞭MoS2潤滑相,滲硫層厚度約為500 nm,主要相結構為CrN與MoS2及少量MoN.與CrMoN複閤膜相比,CrN/MoS2固體自潤滑複閤膜摩抆繫數較低、磨損體積較小,具有較好的耐磨性和減摩性.同時,對CrN/MoS2固體自潤滑複閤膜的成膜機理及磨損機製進行瞭探討.
채용자공천사여저온리자삼류복합처리공예원위합성료CrN/MoS2고체자윤활복합막.채용X사선광전자능보(XPS)、아헐전자능보의(AES)화소묘전자현미경(SEM)등분석방법대CrN기고체자윤활복합막적현미조직진행분석.병통과CETR활동마손시험궤,대CrMoN복합막급CrN/MoS2자윤활복합막적마찰학성능진행료비교연구;통과SEM대마흔형모진행료관찰.결과현시,CrMoN복합막경삼류처리후,주요합성료MoS2윤활상,삼류층후도약위500 nm,주요상결구위CrN여MoS2급소량MoN.여CrMoN복합막상비,CrN/MoS2고체자윤활복합막마찰계수교저、마손체적교소,구유교호적내마성화감마성.동시,대CrN/MoS2고체자윤활복합막적성막궤리급마손궤제진행료탐토.
