低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2013年
1期
1-5
,共5页
李盛姬%黄雪静%齐海%张建君
李盛姬%黃雪靜%齊海%張建君
리성희%황설정%제해%장건군
电子气体%清洗剂%氟化工%半导体
電子氣體%清洗劑%氟化工%半導體
전자기체%청세제%불화공%반도체
含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和蚀刻剂.综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考.
含氟電子氣體在半導體/電子工業中主要用作清洗劑和蝕刻劑.綜述瞭含氟電子氣體品種、性能及其研究進展,指齣研究方嚮與新一代含氟電子氣體,以供同仁參攷.
함불전자기체재반도체/전자공업중주요용작청세제화식각제.종술료함불전자기체품충、성능급기연구진전,지출연구방향여신일대함불전자기체,이공동인삼고.
