河北大学学报（自然科学版）
河北大學學報（自然科學版）
하북대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEBEI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2013年
6期
583-586
,共4页
邓泽超%胡自强%丁学成%褚立志%王英龙
鄧澤超%鬍自彊%丁學成%褚立誌%王英龍
산택초%호자강%정학성%저립지%왕영룡
脉冲激光烧蚀%电场%成核生长动力学
脈遲激光燒蝕%電場%成覈生長動力學
맥충격광소식%전장%성핵생장동역학
pulsed laser ablation%electric field%dynamics of nucleation and growth
在室温和真空环境中,引入外加直流电场,通过脉冲激光烧蚀单晶硅靶,在与电极板和羽辉轴线平行放置的衬底上沉积了一系列薄膜.扫描电子显微镜(SEM)、拉曼(Raman)散射谱和X线衍射(XRD)谱检测结果均表明,随着电压和衬底位置的变化,均无纳米晶粒形成.结合晶粒成核生长动力学,分析得出烧蚀羽辉中只包含硅原子、带正电硅离子和带负电的电子.
在室溫和真空環境中,引入外加直流電場,通過脈遲激光燒蝕單晶硅靶,在與電極闆和羽輝軸線平行放置的襯底上沉積瞭一繫列薄膜.掃描電子顯微鏡(SEM)、拉曼(Raman)散射譜和X線衍射(XRD)譜檢測結果均錶明,隨著電壓和襯底位置的變化,均無納米晶粒形成.結閤晶粒成覈生長動力學,分析得齣燒蝕羽輝中隻包含硅原子、帶正電硅離子和帶負電的電子.
재실온화진공배경중,인입외가직류전장,통과맥충격광소식단정규파,재여전겁판화우휘축선평행방치적츤저상침적료일계렬박막.소묘전자현미경(SEM)、랍만(Raman)산사보화X선연사(XRD)보검측결과균표명,수착전압화츤저위치적변화,균무납미정립형성.결합정립성핵생장동역학,분석득출소식우휘중지포함규원자、대정전규리자화대부전적전자.
