低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2012年
6期
21-23
,共3页
陈自力%青晨%杨云%张剑锋
陳自力%青晨%楊雲%張劍鋒
진자력%청신%양운%장검봉
多晶硅%变压吸附%净化回收%氢源
多晶硅%變壓吸附%淨化迴收%氫源
다정규%변압흡부%정화회수%경원
简述了多晶硅生产过程中氢气的几个来源,并比较了采用电解、裂解或工业尾气净化回收氢气作为多晶硅生产补充氢气来源的技术、经济性.提出了采用特定吸附剂,变压吸附净化回收可重复利用氢气的新方法.对比了几种氢气的净化回收技术的优势,认为采用变压吸附(PSA)氢气净化工艺过程最优,能耗最低,经济效益最好.
簡述瞭多晶硅生產過程中氫氣的幾箇來源,併比較瞭採用電解、裂解或工業尾氣淨化迴收氫氣作為多晶硅生產補充氫氣來源的技術、經濟性.提齣瞭採用特定吸附劑,變壓吸附淨化迴收可重複利用氫氣的新方法.對比瞭幾種氫氣的淨化迴收技術的優勢,認為採用變壓吸附(PSA)氫氣淨化工藝過程最優,能耗最低,經濟效益最好.
간술료다정규생산과정중경기적궤개래원,병비교료채용전해、렬해혹공업미기정화회수경기작위다정규생산보충경기래원적기술、경제성.제출료채용특정흡부제,변압흡부정화회수가중복이용경기적신방법.대비료궤충경기적정화회수기술적우세,인위채용변압흡부(PSA)경기정화공예과정최우,능모최저,경제효익최호.
