低温与特气
低溫與特氣
저온여특기
LOW TEMPERATURE AND SPECIALTY GASES
2012年
6期
33-35
,共3页
夏山林%保松%孙基成%苗兴
夏山林%保鬆%孫基成%苗興
하산림%보송%손기성%묘흥
硒化氢%硒化锌%硒化铝%制备
硒化氫%硒化鋅%硒化鋁%製備
서화경%서화자%서화려%제비
硒化氢可用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气.由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一,是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料.介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价.
硒化氫可用于集成電路製造過程中的原材料、摻雜氣體和還原氣.由硒化氫直接與鋅閤成的硒化鋅是重要的紅外光學材料之一,是高功率CO2激光器繫統中光學器件的首選材料.介紹瞭硒化氫的幾種製備方法併對每種方法做瞭評價.
서화경가용우집성전로제조과정중적원재료、참잡기체화환원기.유서화경직접여자합성적서화자시중요적홍외광학재료지일,시고공솔CO2격광기계통중광학기건적수선재료.개소료서화경적궤충제비방법병대매충방법주료평개.