液压与气动
液壓與氣動
액압여기동
CHINESE HYDRAULICS & PNEUMATICS
2011年
6期
26-28
,共3页
倪卫%熊迁%谭宁%曹庭分%贺少勃
倪衛%熊遷%譚寧%曹庭分%賀少勃
예위%웅천%담저%조정분%하소발
洁净保持箱%FFU%尘源污染%CFD
潔淨保持箱%FFU%塵源汙染%CFD
길정보지상%FFU%진원오염%CFD
在建立洁净保持箱结构模型的基础上,分析洁净处理的过程,提出风速是影响洁净保持箱洁净处理的重要参数之一,着重从控制尘源污染和满足气流均一性两个方面对洁净处理要求风速大小进行了分析计算,结果表明控制尘源污染要求风速大于等于0.25 m/s,满足气流均一性的最佳洁净处理风速约为0.25 m/s,最后结合计算和实验,确定洁净保持箱洁净处理方案在采用FFU产生的自上向下垂直流,最佳洁净处理风速为0.25 m/s.
在建立潔淨保持箱結構模型的基礎上,分析潔淨處理的過程,提齣風速是影響潔淨保持箱潔淨處理的重要參數之一,著重從控製塵源汙染和滿足氣流均一性兩箇方麵對潔淨處理要求風速大小進行瞭分析計算,結果錶明控製塵源汙染要求風速大于等于0.25 m/s,滿足氣流均一性的最佳潔淨處理風速約為0.25 m/s,最後結閤計算和實驗,確定潔淨保持箱潔淨處理方案在採用FFU產生的自上嚮下垂直流,最佳潔淨處理風速為0.25 m/s.
재건립길정보지상결구모형적기출상,분석길정처리적과정,제출풍속시영향길정보지상길정처리적중요삼수지일,착중종공제진원오염화만족기류균일성량개방면대길정처리요구풍속대소진행료분석계산,결과표명공제진원오염요구풍속대우등우0.25 m/s,만족기류균일성적최가길정처리풍속약위0.25 m/s,최후결합계산화실험,학정길정보지상길정처리방안재채용FFU산생적자상향하수직류,최가길정처리풍속위0.25 m/s.
