传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2013年
7期
62-63,67
,共3页
电容式微加速度计%标度因数%自动标定
電容式微加速度計%標度因數%自動標定
전용식미가속도계%표도인수%자동표정
capacitive micro accelerometer%scale factor%automatic calibration
电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度.采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过(1,0,-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)和偏置电压,这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定.实验结果表明:通过多次自动定标,传感器标度因数的相对误差为0.79%.
電容式微加速度計的電學參數校準和標定產品製造過程中,通過對標度因數的定標過程能確保傳感器輸齣的線性度.採用MS3110微小電容讀取電路,根據其輸齣函數的要求,隻要確定Cs1,Cs2,Cf3箇電容值,通過(1,0,-1 gn)三點即能確定標度因數(SF)和偏置電壓,這樣就實現瞭電容式微加速度計的標度因數自動標定.實驗結果錶明:通過多次自動定標,傳感器標度因數的相對誤差為0.79%.
전용식미가속도계적전학삼수교준화표정산품제조과정중,통과대표도인수적정표과정능학보전감기수출적선성도.채용MS3110미소전용독취전로,근거기수출함수적요구,지요학정Cs1,Cs2,Cf3개전용치,통과(1,0,-1 gn)삼점즉능학정표도인수(SF)화편치전압,저양취실현료전용식미가속도계적표도인수자동표정.실험결과표명:통과다차자동정표,전감기표도인수적상대오차위0.79%.